低膨脹膜/有機膜的厚度方向和低膨脹玻璃/金屬的微小熱膨脹可以以1nm的小分辨率進行檢測。
測量熱膨脹的方法包括推桿法，光學干涉法，遠攝法和電容器法。
采用雙光路邁克爾遜激光干涉測量技術，可實現z精que的測量。
通過采用零摩擦平移鏡，可以通過簡單地將樣品端面加工成球形表面來容易地進行測量。
另外，可選的石英墊片可用于在改變溫度的同時測量低膨脹膜所需的厚度方向。雙光路邁克爾遜激光干涉式熱膨脹儀LIX-2是業(yè)內唯yi的商用型號。
日本advance激光熱膨脹儀LIX-2 series
日本advance激光熱膨脹儀LIX-2 series
| 模型 | LIX-2M | LIX-2L |
|---|---|---|
| 溫度范圍 | 室溫?700℃ | -150-200℃ |
| 樣品尺寸 | φ3至6 mm x長度10 mm至15 mm長度方向的兩端均球形加工 | |
| 測量氣氛 | ?真空中?低壓高純度氦氣 | |
| 測量方式 | 雙光路邁克爾遜型激光干涉法 | |
| 安裝面積 | 機身約W2000毫米x D800毫米 |
|---|---|
| 需要電源 | 主機AC100V 15A（帶插座和接地）2個位置 |
| 要求接地 | D級（接地電阻100Ω以下） |
| 冷卻水 | 自來水或蒸餾水3 L / min以上，壓力0.15 MPa以上 |
